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一种具双独立中间均压装置之高纯度制氮机，其包括一第一吸附塔、一第二吸附塔、一高压空气储存桶及一氮气制程桶，该第一、第二吸附塔以管线连接该高压空气储存桶及氮气制程桶，并以一进气阀组、一解吸阀组、一氮气排出阀组、一均压阀及一中间均压装置控制该管线内的气体流向，其中：进气阀组设于连接该第一、第二吸附塔之一进气端与该高压空气储存桶之间的管线上，解吸阀组设于连接该第一、第二吸附塔之进气端的管线上，该解吸阀组与该进气阀组呈相互并联，且经管线与一消音器相连接；氮气排出阀组设于连接该第一、第二吸附塔之一排气端与该氮气制程桶之间的管线上，均压阀设于连接该第一、第二吸附塔之排气端的管线上，且与该氮气排出阀组呈相互并联；中间均压装置包含一第一均压控制阀与一第二均压控制阀，该第一均压控制阀设于连接该第一吸附塔之中段处与该第二吸附塔之进气端的管线上，该第二均压控制阀设于连接该第二吸附塔之中段处与该第一吸附塔之进气端的管线上，其中，该连接第一吸附塔之中段处与第二吸附塔之进气端的管线和该连接第二吸附塔之中段处与第一吸附塔之进气端的管线系相互独立且互不相通的。如申请专利范围第1项所述之具双独立中间均压装置之高纯度制氮机，其中：前述进气阀组包含一第一进气阀、一第二进气阀与一进气总阀，该第一、第二进气阀设于连接该第一、第二吸附塔之进气端的管线上，该进气总阀设于连接该第一、第二进气阀与该高压空气储存桶的管线上；前述解吸阀组包含一第一解吸阀、一第二解吸阀与一解吸总阀，该第一、第二解吸阀设于连接该第一、第二吸附塔之进气端的管线上，且与该第一、第二进气阀呈相互并联，该解吸总阀设于连接该第一、第二解吸阀与该消音器的管线上；前述氮气排出阀组包含一第一氮气排出阀、一第二氮气排出阀与一氮气排出总阀，该第一、第二氮气排出阀设于连接该第一、第二吸附塔之排气端的管线上，该氮气排出总阀设于连接该第一、第二氮气排出阀与该氮气制程桶的管线上。如申请专利范围第1或2项所述之具双独立中间均压装置之高纯度制氮机，其中，前述第一、第二吸附塔内填充有吸附剂，前述高压空气储存桶系用以储放预先经过净化处理的压缩空气。 |
