发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK, ASSEMBLE-TYPE CHUCKING APPARATUS HAVING THE CHUCK, APPARATUS FOR ATTACHING GLASS SUBSTRATES HAVING THE CHUCK AND ASSEMBLE-TYPE APPARATUS FOR ATTACHING GLASS SUBSTRATES HAVING THE CHUCK
摘要
申请公布号 KR100984748(B1) 申请公布日期 2010.10.01
申请号 KR20060030252 申请日期 2006.04.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/687;H01L21/683 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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