| 摘要 |
<p>Dispositif microélectronique imageur thermique comprenant : - un support (200), - une pluralité de niveaux (M1,..., M5, M6) métalliques d'interconnexions de composants électroniques formés sur le support, - une matrice de détecteurs thermiques formée sur le support, chaque détecteur comportant une membrane (210) permettant d'absorber une énergie rayonnante et de fournir un ou plusieurs signaux électriques en fonction de l'énergie rayonnante absorbée, et des moyens de lecture des signaux électriques issus de la membrane, les moyens de lecture étant intégrés au support, au moins plusieurs des dits détecteurs ayant des moyens de lecture dotés d'un intégrateur comprenant au moins un condensateur d'intégration MIM formé en regard de la membrane, le condensateur MIM ayant au moins une armature (244) supérieure réalisée dans un niveau métallique donné d'interconnexion de ladite pluralité de niveaux (M1,..., M5, M6) métalliques d'interconnexions.</p> |
