发明名称 CLOSED LOOP MOCVD DEPOSITION CONTROL
摘要
申请公布号 KR20100106608(A) 申请公布日期 2010.10.01
申请号 KR20107019263 申请日期 2009.01.23
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SU JIE;WASHINGTON LORI D.;BOUR DAVID;GRAYSON JACOB;NIJHAWAN SANDEEP;STEVENS RONALD
分类号 H01L21/00;H01L21/205 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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