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发明名称 METHOD FOR FORMING A COATING WITH A LIQUID, AND METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100984901(B1) 申请公布日期 2010.10.01
申请号 KR20090125998 申请日期 2009.12.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/02;H01L21/08 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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