| 发明名称 |
FLUID FLOW MEASURING AND PROPORTIONAL FLUID FLOW CONTROL DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100105906(A) |
申请公布日期 |
2010.09.30 |
| 申请号 |
KR20107020098 |
申请日期 |
2003.07.18 |
| 申请人 |
ENTEGRIS, INC. |
发明人 |
WARGO CHRISTOPHER;NIERMEYER KARL J.;SHYU JIEH HWA;BRODEUR CRAIG L.;BASSER WILLIAM |
| 分类号 |
G01F1/34;G01P5/14;G01F1/44;G05D7/00;G05D7/06 |
主分类号 |
G01F1/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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