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经营范围
发明名称
HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN HALBLEITERCHIP
摘要
申请公布号
DE602004028753(D1)
申请公布日期
2010.09.30
申请号
DE200460028753T
申请日期
2004.10.20
申请人
3M INNOVATIVE PROPERTIES CO.
发明人
NODA, KAZUKI;IWASAWA, MASARU
分类号
H01L21/304;H01L21/78;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/68
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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