| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (1, 24) zur Erzeugung dreidimensionaler Bilddaten einer Probe (11). Bei der Erfindung werden ein erster Teilchenstrahl zur Freilegung einer Oberfläche und ein zweiter Teilchenstrahl zur Erzeugung eines Bilds der Oberfläche verwendet. Durch Bewegen der Probe (11) reicht es aus, den ersten Teilchenstrahl und/oder den zweiten Teilchenstrahl anfänglich einmal auf eine tatsächlich freigelegte Oberfläche der Probe (11) zu fokussieren. Da sämtliche weiteren freigelegten Oberflächen immer an derselben Position angeordnet werden, ist eine Nachfokussierung des ersten Teilchenstrahls und/oder des zweiten Teilchenstrahls nicht mehr notwendig.</p> |
