| 发明名称 | 物理气相淀积沉积腔室气密性检测方法 | ||
| 摘要 | 一种物理气相淀积沉积腔室气密性检测方法，包括：运行第一控片，所述第一控片的运行时间大于或等于检测反应时间；对第二控片执行物理气相淀积操作；检测所述第二控片的阻值；所述第二控片的阻值符合检测基准时，所述物理气相淀积沉积腔室的气密性符合产品要求；所述第二控片的阻值大于检测基准时，所述物理气相淀积沉积腔室的气密性不符合产品要求。可及时地检测出所述物理气相淀积沉积腔室开始运行后发生的异常，利于及时排障，以减少所述物理气相淀积沉积腔室处于异常状态时生产产品的数量，且不改变所述物理气相淀积沉积腔室内的环境。 | ||
| 申请公布号 | CN101458150B | 申请公布日期 | 2010.09.29 |
| 申请号 | CN200710094497.8 | 申请日期 | 2007.12.13 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 聂佳相;苏娜;胡宇慧 |
| 分类号 | G01M3/40(2006.01)I;G01M3/02(2006.01)I | 主分类号 | G01M3/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种物理气相淀积沉积腔室气密性检测方法，其特征在于，包括： 运行第一控片，所述第一控片的运行时间大于或等于检测反应时间； 对第二控片执行物理气相淀积操作； 检测所述第二控片的阻值； 所述第二控片的阻值符合检测基准时，所述物理气相淀积沉积腔室的气密性符合产品要求；所述第二控片的阻值大于检测基准时，所述物理气相淀积沉积腔室的气密性不符合产品要求。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||