| 发明名称 | 载物台装置 | ||
| 摘要 | 本发明的载物台装置(10)具有用于载置晶片(12)的晶片保持部件(14)、可升降地支撑晶片保持部件(14)的Z轴支撑基座(18)、经由轴承(20)可转动地支撑Z轴支撑基座(18)的θz支撑基座(22)、和搭载θz支撑基座(22)的XY工作台(24)。Z轴执行元件(36)的固定元件(36a)固定在θz支撑基座(22)的平面部(34)上，可动元件(36)固定在晶片保持部件(14)的横架部件(14b)的两端上。一对Z轴执行元件(36)被控制以使其对晶片保持部件(14)的横架部件(14b)同时施加驱动力。此时，Z轴执行元件(36)的驱动力的反作用力被θz支撑基座(22)及XY工作台(24)承接，所以抑制了由反作用力引起的振动发生。 | ||
| 申请公布号 | CN101194214B | 申请公布日期 | 2010.09.29 |
| 申请号 | CN200680020466.1 | 申请日期 | 2006.07.20 |
| 申请人 | 住友重机械工业株式会社 | 发明人 | 中岛龙太 |
| 分类号 | G05D3/00(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I;G12B5/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | G05D3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 一种载物台装置，具有：保持部件，用来保持对象物；升降支撑部件，可升降地支撑该保持部件；轴承，对该升降支撑部件进行支撑，并能够导引该升降支撑部件绕Z轴旋转；转动支撑部件，支撑该轴承；以及Z轴驱动机构，沿Z轴方向升降上述保持部件；该载物台装置的特征在于，上述Z轴驱动机构具有固定元件和可动元件，所述固定元件固定在上述转动支撑部件上，并由上述转动支撑部件直接承受使上述保持部件升降的情况下所产生的反作用力。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||