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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR TREATING SILICON WAFERS
摘要
申请公布号
EP2232526(A2)
申请公布日期
2010.09.29
申请号
EP20080861689
申请日期
2008.12.18
申请人
GEBR. SCHMID GMBH & CO.
发明人
KAPPLER, HEINZ
分类号
H01L21/00;B05C1/02;B05C1/08
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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