直线型金属镀膜蒸发源的连续输送镀膜料装置

摘要

本发明揭示了一种直线型金属镀膜蒸发源的连续输送镀膜料装置，装设于平行排列的直线型蒸发源及盛料斗之间，其特征在于：该连续输送镀膜料装置为绕中心轴旋转的圆柱形送料辊，表面圆周分布设有复数条直线型凹槽；其中所述送料辊的凹槽倾倒高度位于直线型热蒸发源之上。本发明的装置可实现对直线型蒸发源的不间断供料，缩小了热蒸发镀膜空间，有利于改善蒸发区的真空度和清洁度；此外，由单个直线型蒸发源取代阵列式多个蒸发源，在保证大面积基材连续均匀沉积的同时，大大简化了蒸发源的系统机构。

主权项

直线型金属镀膜蒸发源的连续输送镀膜料装置，装设于平行排列的直线型蒸发源及盛料斗之间，其特征在于：该连续输送镀膜料装置为绕中心轴旋转的圆柱形送料辊，所述送料辊表面圆周分布设有复数条直线型凹槽；其中所述送料辊的凹槽倾倒高度位于直线型热蒸发源之上，且凹槽的装盛高度位于盛料斗的斗沿之下。