激光光斑测量装置及其测量方法

摘要

本发明涉及一种激光光斑测量装置及其测量方法。该装置由DMD微反射镜阵列、数字相机、曝光控制器和图像数字处理器组成；所述的曝光控制器设有两个输出端，分别输出信号控制DMD微反射镜阵列和数字相机；所述的图像数字处理器的输入端和数字相机的视频信号输出端连接。其方法是利用了DMD微反射镜阵列器件可实现分时、分区域改变入射光路的特性，从而达到准确控制曝光过程，获得具有高动态范围的激光束检测图像，经数据处理，得到光斑直径、椭圆率、位置、中心点、三维轮廓、功率等参数。由于整个过程在较短的时间内，避免了激光斑的位置和能态随时间的变化等缺陷，更准确地测量出激光束的光束质量。

主权项

一种激光光斑的测量方法，其特征在于测量步骤如下：(1)DMD微反射镜阵列中的工作像元全部处于开启状态，被测激光束经微反射镜阵列反射至数字相机的感光面上，经数字相机预成像后将获得的视频信号输入到图像数据处理器；(2)图像数据处理器以上述预成像所测得的激光光斑中心或重心为原点，按同心圆的形式设定激光光斑不同的曝光区域和各区域相应的曝光时间，确定曝光时间序列控制程序，将该控制程序信号输入至曝光控制器；(3)曝光控制器将上述曝光时间序列控制程序信号输出至DMD微反射镜阵列，控制其每个工作像元处于开启或关闭状态的时间，再次将被测激光束通过DMD微反射镜阵列，经数字相机成像后输入到图像数据处理器，以图象上每一个工作像元的感光值和对应的曝光时间为参数，经计算处理后完成对激光光斑的测量。