发明名称 |
电子发射元件的制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种制备电子发射元件的方法,该方法包括如下步骤:提供一基板;在基板上制备一对下电极;在下电极上放置多个碳纳米管元件;在碳纳米管元件表面制备上电极;形成碳纳米管元件的间隙。该电子发射元件可应用于表面传导电子发射显示装置(Surface-Conduction Electron EmitterDisplay,简称SED)中。 |
申请公布号 |
CN101192494B |
申请公布日期 |
2010.09.29 |
申请号 |
CN200610157040.2 |
申请日期 |
2006.11.24 |
申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
柳鹏;范守善;刘亮;姜开利 |
分类号 |
H01J9/02(2006.01)I;H01J1/316(2006.01)I;H01J29/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01J9/02(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种电子发射元件的制备方法,其包括以下步骤: 提供一基板; 间隔设置两个平行的下电极于该基板表面; 沿垂直于下电极方向设置多个碳纳米管元件于下电极上; 对应设置两个上电极于下电极上,并将上述碳纳米管元件固定于上电极与下电极之间;以及 形成一间隙于位于平行电极之间的碳纳米管元件间。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |