半导体试验装置的校准方法

摘要

本发明的目的在于提供一种能降低成本、简化作业内容、缩短作业时间的半导体试验装置的校准方法。在多个驱动器的每一个与多个比较器的每一个以1对1的方式相对应的状态下，在对于彼此以1对1的方式相对应的时钟信号和选通信号来说以某一方为基准调整了另一方的相位后，取得时钟信号相互间的相对的相位差或选通信号相互间的相对的相位差，根据该相对的相位差来调整多个时钟信号和多个选通信号的相位。

主权项

一种半导体试验装置的校准方法，上述半导体试验装置包括：时序发生器，生成试验工作的基本周期内包含的各种时序沿；模式发生器，生成对被测定器件的各引脚输入的模式数据；数据选择器，使从上述模式发生器输出的各种模式数据与上述被测定器件的各引脚相对应；根据由模式发生器发生并由数据选择器选择的模式数据和由时序发生器生成的时序沿，进行对被测定器件的波形控制的格式控制部；引脚电子线路，具有进行与时钟信号同步的信号的生成工作的驱动器和进行与选通信号同步的比较工作的比较器，根据由所述格式控制部的波形控制来生成的上述时钟信号或上述选通信号，生成在与上述被测定器件之间被输入输出的信号；以及测试器控制部，对于上述时序发生器、上述模式发生器、上述数据选择器、上述引脚电子线路、以及上述格式控制部，进行在校准工作和对上述被测定器件的各种试验工作中所必要的控制，该校准工作进行上述时钟信号和上述选通信号的相位调整，上述校准方法的特征在于，通过上述测试器控制部进行的校准工作具有下述步骤：第1步骤，将多个上述驱动器和多个上述比较器分成m个组，使每组包含2个以上的上述驱动器和2个以上的上述比较器，在此状态下，将一个上述驱动器作为共同驱动器，以与该共同驱动器对应的上述时钟信号为基准，将各组中包含的一个上述比较器作为组内共同比较器，调整与该组内共同比较器对应的上述选通信号的相位；第2步骤，在上述m个组的每一组中，以与上述组内共同比较器对应的上述选通信号为基准，调整与相同的组中包含的每一个上述驱动器分别对应的上述时钟信号的相位；以及第3步骤，在上述m个组的每一组中，以与任意的上述驱动器对应的上述时钟信号的相位为基准，调整与相同的组中包含的每一个上述比较器分别对应的上述选通信号的相位。