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发明名称 CONTAMINANT DEPOSITION CONTROL BAFFLE WITH CAPACITANCE DIFFERENCE PRESSURE TRANSDUCER
摘要
申请公布号 EP1627214(B1) 申请公布日期 2010.09.29
申请号 EP20040751837 申请日期 2004.05.10
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 LISCHER, JEFFREY, D.;TRAVERSO, ROBERT
分类号 G01L19/06;C23C16/00;G01L9/00;G01L9/12;H01L21/00 主分类号 G01L19/06
代理机构 代理人
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