发明名称 ACTIVATION SOLUTION FOR ELECTROLESS PLATING ON DIELECTRIC LAYERS
摘要
申请公布号 KR20100105722(A) 申请公布日期 2010.09.29
申请号 KR20107016235 申请日期 2008.12.20
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 KOLICS ARTUR
分类号 C23C18/18;B01J31/28;C01B33/113;H01L21/20 主分类号 C23C18/18
代理机构 代理人
主权项
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