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发明名称 COATER HAVING SUBSTRATE CLEANING DEVICE AND COATING DEPOSITION METHOD EMPLOYING SUCH COATER
摘要
申请公布号 EP1579025(B1) 申请公布日期 2010.09.29
申请号 EP20030800298 申请日期 2003.12.31
申请人 CARDINAL CG COMPANY 发明人 HARTIG, KLAUS
分类号 C23C14/10;C03C17/00;C03C23/00;C23C14/02;C23C14/34;C23C14/46;C23C14/50;C23C14/56 主分类号 C23C14/10
代理机构 代理人
主权项
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