发明名称 配线描绘装置和配线描绘方法
摘要 一种配线描绘装置和配线描绘方法,能够实现配线描绘装置的紧凑话和成本的降低,并且还可以提高描线的可靠性。该配线描绘装置具有在基板上涂布材料并描绘配线等的涂布部、控制该涂布部并至少调整所述材料的涂布量的控制部、对由所述涂布部描绘在所述基板上的配线等进行拍摄的摄像机、以及对从该摄像机读取的图像信息进行处理的图像处理部,所述图像处理部具有如下的处理功能:处理所述图像信息,对亮度值进行测定,并向所述控制部进行发送,所述控制部具有如下的处理功能:对从所述图像处理部发送来的亮度值与预先设定的阈值进行比较,当该亮度值小于阈值时,控制所述涂布部,对所述材料的涂布量进行调整。配线描绘方法也具有上述相同的处理功能。
申请公布号 CN101847585A 申请公布日期 2010.09.29
申请号 CN201010143652.2 申请日期 2010.03.24
申请人 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 发明人 佐野雅规;鸣海孝雄;金泽健太郎
分类号 H01L21/48(2006.01)I;H05K3/10(2006.01)I 主分类号 H01L21/48(2006.01)I
代理机构 上海市华诚律师事务所 31210 代理人 黄依文
主权项 一种配线描绘装置,其特征在于,具有在基板上涂布材料并描绘配线等的涂布部、控制该涂布部并至少调整所述材料的涂布量的控制部、对由所述涂布部描绘在所述基板上的配线等进行拍摄的摄像机、以及对从该摄像机读取的图像信息进行处理的图像处理部,所述图像处理部具有如下的处理功能:处理所述图像信息,对亮度值进行测定,并向所述控制部进行发送,所述控制部具有如下的处理功能:对从所述图像处理部发送来的亮度值与预先设定的阈值进行比较,当该亮度值小于阈值时,控制所述涂布部,对所述材料的涂布量进行调整。
地址 日本国东京都武藏野市吉祥寺本町2丁目6番8号