一种基于近场光学行波吸收的痕量物质分析装置

摘要

本发明涉及一种基于近场光学行波吸收的痕量物质分析装置。现有技术结构复杂，光机要求高，无法得到高精度光谱信息。本发明将由单一光学元件等腰三角形棱镜构成的环形高精细度腔，两个等腰面为高反射率面；光束从一个高反射率腰面入射，在棱镜底面发生内全反射形成近场光测试区域，在等腰三角形棱镜内形成光学行波，从另一个高反射率腰面出射；出射光束经过由两个高反射镜构成的法珀腔高精度分光单元，移动部件带动法珀腔的一个高反射镜沿轴向移动，调节控制出射光谱信息；光电探测器接收法珀腔出射光束，形成高精度光谱信号，实现痕量物质检测。本发明具有系统构成简单稳定、光谱信息精度高、所需测物量少、适用范围广等特点。

主权项

一种基于近场光学行波吸收的痕量物质分析装置，包括光源、光束准直整形器、近场光学行波腔、第一反射镜、第二反射镜、光电传感器、移动部件，其特征在于：光源的出射光束光路上依次设置有光束准直整形器和近场光学行波腔；所述的近场光学行波腔为等腰三角形棱镜，两个腰面为高反射率反射面，底面为内全反射面，测试区为底面内全反射的光学近场区域；光束准直整形器的出射光束由第一腰面入射近场光学行波腔，入射方向与等腰三角形棱镜底面平行，在第一腰面、第二腰面和底面构成的近场光学行波高精细度腔内形成光学行波，由第二腰面出射；近场光学行波腔的第二腰面出射光束光路上依次平行设置有第一反射镜和第二反射镜，第一反射镜和第二反射镜均与光束传播方向垂直，第一反射镜的反射面和第二反射镜的反射面相对，第一反射镜和第二反射镜构成法珀腔；光电传感器设置在第二反射镜的光束出射一侧的光路上；移动部件与第二反射镜连接，带动第二反射镜沿光束方向移动，调节第一反射镜和第二反射镜的间距。