用于远紫外线辐射光刻的方法和设备

摘要

本发明涉及一种使用来自多个激光器对等离子体的激发进行远紫外线辐射光刻的方法和设备。要进行光刻的目标位于照射窗口之后。辐射线包括N个连续的电流脉冲，对其表面能量进行测量。特别地，每个激光器在每次开始时发射具有给定持续时间的能量量子。然后将目标在前N-1个脉冲过程中所接收到的辐射表面能量进行加和，用于迭代方法的第n次迭代中。感光目标位移的距离等于照射窗口在所述平移轴向上宽度的1/N。从光刻方法所需的总能量值中减去上述总和。通过具体选择要开启的激光源的相应数量，对为了获得总能量值而要提供的剩余能量值，以及第n个脉冲所要产生的剩余脉冲量子数进行确定。从而为发出脉冲，对所选的激光器进行触发。

主权项

一种远紫外线光刻方法，其中：通过光刻实现蚀刻操作的辐射线(23)包括至少一条远紫外线，并且包括预定数目N个连续的电流脉冲，对这些脉冲通过照射窗口(40)的每单位面积能量进行测量；以及辐射脉冲是通过从多个激光源中选择的脉冲激光源(10-19)所输出的至少两个激光束在能够发射具有远紫外发射线的等离子体的靶(21)上进行撞击而产生的，所述多个激光源中的每个激光源在每次触发时发射具有给定持续时间(Δt)的能量量子(Q)，所述激光源聚焦于靶的同一点上，要进行光刻的目标(OBJ)具有一个平面，其与光辐射线垂直放置，并且具有一个感光区域(PR)，所述目标能够相对于所述辐射线(23)进行横向移动(41)；对放置方式进行选择以使得在两个连续的远紫外辐射线之间，所述目标(OBJ)相对于所述窗口的横向位移是照射窗口在该位移的方向上的宽度的1/N，其方式使该目标的所述区域的同一段(Z1，Z2)曝光于所述预定数目N个连续远紫外脉冲，所述方法包括下列迭代步骤，对于给定段(Z1，Z2)的第N个脉冲进行陈述：a)对在前N-1个脉冲期间通过所述照射窗口的远紫外线辐射的每单位面积能量求积分；b)在分隔两个连续辐射脉冲的时间间隔里，所述目标平移的距离等于所述照射窗口在这个平移轴上宽度(L)的1/N；c)从所述光刻处理所需的总能量(Wtot)中减去在步骤a)中得到的积分；d)确定为了达到所述光刻处理所需的总能量(Wtot)还要提供的剩余能量；e)计算对于第N个脉冲还要生成的剩余的能量量子的数量；f)确定要激发的激光源的相应数量，并且从所述多个激光源中进行选择，其数量等于所确定的激光源的数量的整数部分；以及g)同时触发在步骤f)中所选择的所述激光源，对于下一段重复这些步骤a)至g)；其中在步骤f)中确定的所述激光源数量是分数，而且与确定的激光源的数量的这个分数部分相关联的小于一个能量量子的能量由能够发射与其它激光源公用的能量量子的激光源提供，并且用一个小于一个能量量子的持续时间(Δt)的延时进行触发，延时是相对于发出同一电流脉冲量子数量整数部分的其它所述激光源的同步触发时刻而言；或者其中在步骤f)中确定的所述激光源数量是分数，而且与确定的激光源的数量的这个分数部分相关联的小于一个能量量子的能量由能够发出小于一个能量量子的能量的激光源提供，并且用一个小于能量量子持续时间(Δt)的延时进行触发，延时是相对于发出同一电流脉冲量子数量整数部分的其它所述激光源的同步触发时刻而言。