发明名称 用于光伏电池的电极及其制造方法
摘要 本发明公开了一种包含衬底(12)和柱状结构的产品,其中该柱状结构包含半导体,且该柱状结构以下述方式置于衬底(12)上:其中该柱状结构的纵轴基本上垂直于衬底(12)。在此公开了包含其上设有电子传输涂层(14)的衬底(12)的电极(10),其中该电子传输涂层(14)包含柱状结构。
申请公布号 CN1797788B 申请公布日期 2010.09.29
申请号 CN200510127251.7 申请日期 2005.11.24
申请人 通用电气公司 发明人 V·马尼文南;J·Y·桂;C·D·亚科文格洛;W·A·莫里森
分类号 H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I 主分类号 H01L31/0224(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 程天正;梁永
主权项 一种方法,包含:将衬底(12)与扩展热等离子体发生器中的等离子体接触,其中该发生器的压强为30毫托至300毫托,且其中该等离子体包含反应物及氧化剂;以及将半导体的涂层置于衬底(12)上,其中该半导体涂层包含柱状微结构。
地址 美国纽约州