发明名称 |
液体喷射头、液体喷射装置以及致动器 |
摘要 |
本发明的目的在于提供一种提高了压电元件的变位特性的液体喷射头、液体喷射装置以及致动器。该液体喷射头具备:流路形成基板(10),其形成有与喷嘴(21)相连通的压力发生室;以及压电元件(300),其使压力发生室产生压力变化,该压电元件(300)包括含有钛(Ti)以及锆(Zr)的压电体层(70)和分别设置在该压电体层(70)的两侧的第一电极(60)和第二电极(80),其中,压电体层(70)中所含的锆和钛的组分比Ti/(Zr+Ti)在0.50以上且0.60以下的范围内并且压电体层(70)的至少形成于第一电极(60)上的部分含有菱面体晶系的晶体。 |
申请公布号 |
CN101844440A |
申请公布日期 |
2010.09.29 |
申请号 |
CN201010143229.2 |
申请日期 |
2010.03.26 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
角浩二 |
分类号 |
B41J2/045(2006.01)I;H01L41/18(2006.01)I |
主分类号 |
B41J2/045(2006.01)I |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 11247 |
代理人 |
陈海红;周春燕 |
主权项 |
一种液体喷射头,其特征在于,具备:流路形成基板,其形成有与喷射液滴的喷嘴相连通的压力发生室;以及压电元件,其设置于该流路形成基板上并使所述压力发生室产生压力变化,该压电元件包括含有钛(Ti)以及锆(Zr)的压电体层和分别设置在该压电体层的两侧的第一电极及第二电极,其中,所述压电体层中所含的锆和钛的组分比Ti/(Zr+Ti)在0.50以上且0.60以下的范围内并且该压电体层的至少形成于所述第一电极上的部分含有菱面体晶系的晶体。 |
地址 |
日本东京都 |