发明名称 分析电磁体
摘要 在分析电磁体40中,沿离子束2的传播方向,将其中弯曲平面图形状的磁极的每一个划分成三个部分磁极81至83。朝弯曲部分的外部,加宽如从离子束2的入口计数的第一和第三部分磁极对81、83的间隙,以及朝弯曲部分的内部,加宽第二部分磁极对82的间隙。
申请公布号 CN101114565B 申请公布日期 2010.09.29
申请号 CN200710110263.8 申请日期 2007.06.08
申请人 日新意旺机械股份有限公司 发明人 土肥正二郎
分类号 H01J49/02(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I 主分类号 H01J49/02(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 李涛;钟强
主权项 一种分析电磁体,用于执行具有带状形状的离子束的动量分析,在该带状形状中,以所述离子束的传播方向作为z方向,与该传播方向z方向垂直的平面的y方向中的尺寸大于垂直于y方向的x方向中的尺寸,所述离子束的轨道在xz平面内弯曲为圆弧状轨道,所述分析电磁体包括:磁极,通过y方向中的间隙彼此相对,并在其间入射离子束,产生使得所述离子束进行所述的弯曲的磁场,其中,沿离子束的传播方向,将所述磁极的每一个划分成三个或更多奇数部分磁极,从离子束的入口计数的奇数部分磁极对的间隙向着所述圆弧状轨道的外侧方向加宽,从离子束的所述入口计数的至少一个偶数部分磁极对的每个磁极对应的各个间隙向着所述圆弧状轨道的中心方向加宽。
地址 日本京都