可变形镜的制造方法

摘要

一种适于大规模生产的可变形镜的制造方法，包括如下步骤：沿着将要成为可变形镜的区域间的边界、在作为支撑基板(2)的第一晶圆(20)和作为镜基板(3)的第二晶圆(30)的表面上形成第一沟槽和第二沟槽；设置第一与第二晶圆，使支撑柱(5)和压电元件(4)夹在第一晶圆与第二晶圆的上述区域之间，且形成所述第二沟槽的表面朝内，以使其接合；通过对第二晶圆外表面的平坦化处理直到至少抵达第二沟槽，将第二晶圆分割成镜基板；通过沿着第一沟槽折断第一晶圆，将第一晶圆分割成支撑基板；以及在分割步骤得到的每个镜基板的外表面形成反射膜(6)。根据本发明的可变形镜的制造方法，可以同时得到许多具有良好质量的可变形镜，且该方法足以适应大规模生产。

主权项

一种可变形镜的制造方法，每个可变形镜包括：支撑基板；镜基板，所述镜基板与支撑基板相对且由支撑柱支撑，并且所述镜基板的表面具有反射膜；以及压电元件，所述压电元件夹在所述支撑基板与所述镜基板之间，当施加电场时，所述压电元件膨胀或收缩使所述镜基板和所述反射膜变形；以及所述制造方法包括：第一晶圆的沟槽形成步骤，沿着第一晶圆的表面的将要成为可变形镜的区域之间的边界形成第一沟槽，所述第一晶圆将要成为所述支撑基板；第二晶圆的沟槽形成步骤，沿着第二晶圆的表面的将要成为可变形镜的区域之间的边界形成第二沟槽，所述第二晶圆将要成为所述镜基板；接合步骤，将所述第一晶圆和所述第二晶圆设置为使所述支撑柱和所述压电元件夹在所述第一晶圆与所述第二晶圆的上述区域之间，且形成所述第二沟槽的表面朝内，以至少将所述第一晶圆与所述支撑柱相互接合、所述第一晶圆与所述压电元件相互接合以及所述第二晶圆与所述支撑柱相互接合；第二晶圆分割步骤，通过对所述第二晶圆的外表面进行平坦化处理直到至少抵达第二沟槽，将所述第二晶圆分割成镜基板；第一晶圆分割步骤，通过沿着所述第一沟槽折断所述第一晶圆，将所述第一晶圆分割成所述支撑基板；以及反射膜形成步骤，在通过所述分割步骤得到的每个镜基板的外表面上形成反射膜。