彩色滤光基板的重工方法

摘要

一种彩色滤光基板重工的方法，其步骤至少包括：提供具有一导电层以及至少一附着物的一彩色滤光基板，其中附着物是设置于导电层上；接着，形成一保护层于彩色滤光基板上，并覆盖导电层以及附着物；最后，利用一干蚀刻步骤去除保护层以及附着物。其中，彩色滤光基板还包含至少一孔洞形成于上述的导电层，并穿透导电层。在本发明所提供的重工方法中，是利用保护层覆盖该孔洞，避免孔洞在后续蚀刻制程中受到等离子体击穿而产生下层色层及遮光层不良，以提高彩色滤光基板重工制程的回收率。

主权项

一种彩色滤光基板重工的方法，其特征在于，包括：提供一彩色滤光基板，该彩色滤光基板具有一导电层以及至少一附着物，该附着物设置于该导电层上；形成一保护层于该彩色滤光基板上，并覆盖该导电层以及该附着物；以及利用一干蚀刻步骤去除该保护层以及该附着物。