真空闸阀及使用它的闸开闭方法

摘要

一种真空闸阀，包含闸板退藏及闭塞移动时在内，在闸板从开放状态到闭塞状态及从闭塞状态到开放状态时，可以减少异物向闸板退藏室的侵入、附着。在所述闸板被收藏于所述闸板退藏室时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，遮板密封部与固定密封部接触，据此，闭塞所述入口；并且，在闸板在遮板移动室内移动、第一闸板密封部与固定密封部接触，据此，闭塞所述排气口时，所述遮板在遮板移动室内移动，遮板密封部与第二闸板密封部接触，据此，闭塞所述入口。

主权项

一种真空闸阀，具有：本体，具有在其端部形成排气口的排气体部；退藏部，具有闸板退藏室；闸板，从所述闸板退藏室向所述排气体部移动、闭塞上述排气口，并且收藏于上述闸板退藏室；闸板驱动部，使该闸板移动；遮板，沿该排气体部可以移动、设置于遮板移动室；遮板驱动部，使该遮板移动，其特征在于，所述本体具有形成所述遮板移动室的遮板移动部，所述遮板移动室面向所述排气体部侧方形成入口，在所述闸板向所述入口闭塞移动时及所述闸板向所述闸板退藏室退藏移动时，将所述遮板从所述排气体部隔离，所述闸板退藏部被设置成使所述闸板退藏室连通于所述遮板移动室，在所述遮板移动部，与所述遮板移动室的所述入口对置、形成固定密封部，所述遮板具有与所述固定密封部对置形成的遮板密封部，所述闸板形成为，从所述闸板退藏室向所述遮板移动室、及从该遮板移动室向所述排气体部可以移动，并且，在所述闸板的一面侧与所述固定密封部对置形成第一闸板密封部，而在所述闸板的与所述第一闸板密封部的反面侧，与所述遮板密封部对置形成第二闸板密封部，在所述闸板被收藏于所述闸板退藏室时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，所述遮板密封部与所述固定密封部接触，据此，闭塞所述入口；并且，在所述闸板在所述遮板移动室内移动、所述第一闸板密封部与所述固定密封部接触，据此，闭塞所述排气口时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，所述遮板密封部与所述第二闸板密封部接触，据此，闭塞所述入口。