探针及其制作方法

摘要

本发明揭露一种探针及其制作方法。该探针包含一引线以及一凸块，其中该引线形成于一基板上；该凸块形成于该引线上。此外，本发明还揭露一探针块。该探针块包括该些探针设置于该基板上，因此该探针块包括复数条引线，以及复数个凸块。每一个凸块设置于每一条引线的一端正上方。根据本发明的探针的凸块与引线是一体成型。该探针的制作方法其特征在于使用一灰阶光罩制程于该基板上利用一次光罩制程制作出探针的引线以及形成于引线上的凸块。本发明解决了知两道光罩制程所可能导致的凸块崩裂的问题，进而延长了探针的使用寿命，也解决了测试准确性的问题。

主权项

一种探针的制作方法，其特征在于该方法包括：形成一金属层在基板上；形成一光阻层在该金属层上；使用一灰阶光罩图形化该光阻层，以形成一图案化的线路保护层，其中该图案的线路保护层包含较厚的一凸块区，以及较薄的一引线区；以及蚀刻该图案化的线路保护层以及该金属层，使得该金属层形成一对应该图案化的线路保护层的探针，其中该金属层是被蚀刻以于该凸块区形成该探针的一金属凸块，并于该引线区形成该探针的一金属引线。