多关节机器人

摘要

本发明提供一种防止上下移动轴的灰尘产生所引起的基板的污染，同时提高了生产效率的将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人，具备：载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上对向的多关节臂；对所述多关节臂和上下移动的移动机构进行连接的支撑构件；及安装于所述移动机构的具有旋转功能的台座，所述移动机构在与所述手部的移动方向相同的方向上配置在支柱上，配置于所述移动机构的支撑构件在与所述手部的移动方向正交的方向上突出，与所述多关节臂连接。

主权项

一种多关节机器人，具备：载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部在工件的取出及供给方向上直线移动地进行伸缩，配置为在轴向上对向的多关节臂；对所述多关节臂和上下移动的安装在支柱上的移动机构进行连接的支撑构件；及安装于所述移动机构的具有旋转功能的台座，其特征在于，所述支柱是连接多个块的结构。