具有互补斜边以于其间形成倾斜间隙的多靶材牌

摘要

可应用于靶组件中的靶材牌组由多靶材牌(30)组成，这些多靶材牌以一阵列的形式结合至一另一材料的背撑板(24)上。在该阵列中的这些靶材牌的边缘(32，34)具有互补斜边，以在这些靶材牌之间形成倾斜间隙(36)。这些间隙相对于该靶材法线倾斜一介于10度至55度之间的角度，较佳为15度至45度之间。对于垂直及倾斜间隙两者而言，这些靶材牌的面对侧可通过喷砂而被粗糙化。对于垂直及倾斜间隙两者而言，在间隙底下的该背撑板区域(48)可被粗糙化或可被涂覆或用一靶材材料的区域覆盖。

主权项

一种包含多个具有溅镀材料的靶材牌的靶材牌组，所述靶材牌可被组合成一阵列，其相邻的靶材牌具有相邻边缘，所述相邻边缘被表面粗糙化并被倾斜成为互补角，以在相邻边缘之间形成一个或多个倾斜的间隙。