互连结构及制造该互连结构的方法

摘要

本发明涉及一种互连结构及其制造方法，该互连结构包括均匀隔开的触点的两个交错触点行。每个触点行沿着第一方向延伸。该互连结构进一步包括沿着与第一方向相交的第二方向延伸的导电线。该互连结构进一步包括中间触点，其中每个中间触点与一个触点和一根导电线接触。

主权项

一种互连结构，包括：隔开的触点的第一触点行，所述隔开的触点的第一触点行沿着第一方向延伸；隔开的触点的第二触点行，所述隔开的触点的第二触点行沿着所述第一方向延伸，所述第二触点行的触点相对于所述第一触点行的触点沿着所述第一方向交错；多根导电线，所述多根导电线沿着与所述第一方向相交的第二方向延伸；以及多个中间触点，每个中间触点与相应的一个所述触点和相应的一根所述导电线接触，进一步包括绝缘层，所述绝缘层邻接所述导电线的底部和所述中间触点的侧壁。