| 发明名称 | 流体混合装置 | ||
| 摘要 | 一种流体混合装置，包括顺序流体连接的缓冲槽、计量装置和混合槽，还包括第一三通装置、第二三通装置和第三三通装置；其中，所述第一三通装置的第一端用于和第一流体供给源连接，第二端与所述缓冲槽输入端流体连接，第三端与所述第二三通装置的第一端流体连接；所述第二三通装置的第二端与所述混合槽输入端流体连接，第三端与所述第三三通装置的第一端流体连接；所述第三三通装置的第二端与所述缓冲槽输入端流体连接，第三端用于和第二流体供给源连接。本发明能够实现在两种流体供给源与流体混合装置连接端不变的情况下该两种流体任意比例的混合。 | ||
| 申请公布号 | CN101455948B | 申请公布日期 | 2010.09.29 |
| 申请号 | CN200710094557.6 | 申请日期 | 2007.12.13 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 秦志涛;王伟 |
| 分类号 | B01F3/08(2006.01)I;B01F15/04(2006.01)I;C23F1/08(2006.01)I | 主分类号 | B01F3/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种流体混合装置，包括顺序流体连接的缓冲槽、计量装置和混合槽，其特征在于：还包括第一三通装置、第二三通装置和第三三通装置；其中，所述第一三通装置的第一端用于和第一流体供给源连接，第二端与所述缓冲槽输入端流体连接，第三端与所述第二三通装置的第一端流体连接；所述第二三通装置的第二端与所述混合槽输入端流体连接，第三端与所述第三三通装置的第一端流体连接；所述第三三通装置的第二端与所述缓冲槽输入端流体连接，第三端和第二流体供给源连接。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||