光学式检测传感器

摘要

根据本发明的一个方式，提供一种光学式检测传感器，其将从光源输出的出射光照射到距第一光纤的端面相对距离而配置的被测定物上，并由第二及第三光纤接收该反射光，并计算出被测定物的变位量。在该传感器中，以使第一光纤的长度方向和被测定物相对于照射面的法线呈角度θ的方式进行配置，第二及第三光纤被平行配置，且被配置为该第二及第三光纤的长度方向和被测定物相对于照射面的法线呈角度θ，第一光纤和、第二及第三光纤隔着法线相对配置，第一至第三光纤，具有相对于光源的输出波长，dNA/dλ为4×10-5以下的特性。

主权项

一种光学式检测传感器，其中，至少具有：光源；第一光纤，对从上述光源输出的出射光进行导光；第二光纤及第三光纤，将上述出射光照射到距上述第一光纤的端面相对距离而配置的被测定物上，接收由该被测定物反射的反射光；第一受光元件及第二受光元件，分别接收在上述第二光纤及上述第三光纤内导光的反射光，并变换为电信号；和运算处理单元，根据由上述第一受光元件及上述第二受光元件变换的电信号的比率，计算出上述被测定物的变位量，上述第一光纤被配置为：该第一光纤的长度方向和上述被测定物相对于照射面的法线呈角度θ，上述第二光纤及上述第三光纤被平行配置，且被配置为：该第二光纤及该第三光纤的长度方向和上述被测定物相对于照射面的法线呈角度θ，上述第一光纤和、上述第二光纤及上述第三光纤，隔着上述法线相对配置，上述第一至第三光纤，具有相对于上述光源的输出波长，dNA/dλ为4×10-5以下的特性。