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发明名称 PULSED BIAS PLASMA PROCESS TO CONTROL MICROLOADING
摘要
申请公布号 KR20100105638(A) 申请公布日期 2010.09.29
申请号 KR20107014344 申请日期 2008.11.18
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 LEE, WON CHUL;FU QIAN;LIU SHENJIAN;PU BRIAN
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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