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发明名称
摘要
申请公布号 JP4554446(B2) 申请公布日期 2010.09.29
申请号 JP20050180635 申请日期 2005.06.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;C23C16/42;H01L29/78 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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