发明名称 Droplet and filament target stabilizer for EUV source nozzles
摘要
申请公布号 EP1429187(B1) 申请公布日期 2010.09.29
申请号 EP20030027812 申请日期 2003.12.03
申请人 UNIVERSITY OF CENTRAL FLORIDA FOUNDATION, INC. 发明人 ORSINI, ROCCO A.;PETACH, MICHAEL B.;MCGREGOR, ROY D.
分类号 H05G2/00;G03F7/20 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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