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发明名称 DISPOSITIF DE PROJECTION INTERFEROMETRIQUE A TROIS OUVERTURES POUR PRODUIRE UNE TACHE CONSTITUEE DE STRUCTURES FINES
摘要
申请公布号 FR2934058(B1) 申请公布日期 2010.09.24
申请号 FR20080054813 申请日期 2008.07.15
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S.) 发明人 FOY RENAUD;TALLON MICHEL;PERRUCHOT SANDRINE;LE VAN SUU AUGUSTE;BLANC PIERRE ERIC
分类号 G02B27/10;G01J9/02 主分类号 G02B27/10
代理机构 代理人
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