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经营范围
发明名称
Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, sowie mikrolithographisches Projektionsbelichtungsverfahren
摘要
申请公布号
DE102008054844(B4)
申请公布日期
2010.09.23
申请号
DE200810054844
申请日期
2008.12.17
申请人
CARL ZEISS SMT AG
发明人
DEGUENTHER, MARKUS
分类号
G03F7/20;G02B17/00
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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