发明名称 STRUKTURIERUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE602005022946(D1) 申请公布日期 2010.09.23
申请号 DE200560022946T 申请日期 2005.06.03
申请人 ADVANTEST CORP. 发明人 MITA, YOSHIO;BOUROUINA, TARIK;MARTY, FEDERIC
分类号 H01L21/027;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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