LIGHT-BLOCKING LAYER SEQUENCE HAVING ONE OR MORE METAL LAYERS FOR AN INTEGRATED CIRCUIT AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF THE LAYER SEQUENCE

摘要

In einem integrierten Schaltkreis wird ein lichtempfindlicher Bereich vor Strahlung geschützt, indem eine Licht blockierende Schichtenfolge (504) über dem lichtempfindlichen Bereich angeordnet wird. Die Licht blockierende Schichtenfolge weist eine oder mehrere Metallschichten (504a) und eine Siliziumschicht (503b,1) zur Absorption auf. Auf der Siliziumschicht ist eine Mottenaugenstruktur (504c) vorgesehen. Dadurch wird eine Reflexion der eintreffenden Strahlung so minimiert, dass auch Streulicht wirksam von dem lichtempfindlichen Bereich unter der Licht blockierende Schichtenfolge (504) abgehalten werden kann.