用于密封扩散炉内石英管的密封装置

摘要

本实用新型涉及制造太阳电池形成硅片表面P-N结的扩散炉，尤其涉及一种用于密封扩散炉内石英管的密封装置。本实用新型公开的一种用于密封扩散炉内石英管的密封装置，包括石英炉门和隔热包，所述石英炉门和隔热包连接为一整体。本实用新型可以减少偏磷酸的冷凝，有效抑制冷凝偏磷酸对石英管和石英炉门的腐蚀，从而提高了石英管和石英炉门的使用寿命，并且延长了石英管的清洗周期；降低接液盘因冷凝偏磷酸而导致的被腐蚀甚至被穿孔的可能，从而减少了该扩散炉总体的运行成本以及延长接液盘的使用寿命，从而使得硅片因接液盘被腐蚀穿透而造成的硅片扩散不良率下降。

主权项

一种用于密封扩散炉内石英管的密封装置，包括石英炉门和隔热包，其特征在于，所述石英炉门和隔热包连接为一整体。