用于测漏的方法与设备

摘要

在测漏的过程中，由测试气体产生的信号被干扰影响覆盖，随着容器中真空度的增加，所述干扰影响逐渐降低。根据体积信号(MS)的负斜率来计算较低显示极限(AG)。在激活清零功能时，该体积信号(MS)不减小到0，而是升高到显示极限的高度。每当超出较低显示极限时，识别出漏缝。由此，在每一时刻都确保了泄漏检测的最大灵敏度。

主权项

一种测漏的方法，包括以下的步骤：抽出气体，检测在所述抽出的气体中的测试气体，并且产生与测出的漏率Q对应的体积信号(MS)，处理所述体积信号(MS)，使得在产生清零信号时所述体积信号被减小，其特征在于包括进一步的步骤：计算所述体积信号的信号抖动dQ/dt，通过所述计算出的信号抖动确定下显示极限(AG)，仅在所述体积信号(MS)超出所述下显示极限(AG)时指示泄漏。