等离子体增强化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括平设于底部的U形铝槽，所述U形铝槽两端通过脚座支架固定有舢板，所述舢板之间固接插装有极板的支架桥，所述极板顶端通过设置在装条顶板上的槽条限位，所述装条顶板两侧与所述舢板顶端固接，所述极板下部两侧对称设置托板轮，所述槽条内壁与所述极板的间距大于玻璃板的厚度，所述托板轮的轨道宽度大于玻璃板的厚度；两端的所述U形铝槽外侧固接有夹紧机构支撑板，所述夹紧机构支撑板固定有夹紧机构支架，两端对应的所述夹紧机构支架之间连接有夹紧机构。本实用新型能够最大限度的减少玻璃板与极板间的摩擦，保证镀膜质量，从而降低废品率，提高经济效益。

主权项

一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括平设于底部的U形铝槽，所述U形铝槽两端通过脚座支架固定有舢板，所述舢板之间固接插装有极板的支架桥，所述极板顶端通过设置在装条顶板上的槽条限位，所述装条顶板两侧与所述舢板顶端固接，所述极板下部两侧对称设置托板轮，其特征在于，所述槽条内壁与所述极板的间距大于玻璃板的厚度，所述托板轮的轨道宽度大于玻璃板的厚度；两端的所述U形铝槽外侧固接有夹紧机构支撑板，所述夹紧机构支撑板固定有夹紧机构支架，两端对应的所述夹紧机构支架之间连接有夹紧机构；所述夹紧机构支撑板为表面设置有螺栓孔的角钢；所述夹紧机构支架为底部设置有安装座的立柱，所述立柱上部和下部各安装有一个支架配件，所述立柱与所述支架配件分别设置有半圆形凹槽，两个所述半圆形凹槽拼接为圆形通孔，所述圆形通孔的圆心在所述夹紧机构支架的竖直中心线上；所述夹紧机构包括两端设置有转动钮的椭圆柱体，所述转动钮和椭圆柱体之间设置有穿装于所述夹紧机构支架的圆形通孔中的圆柱形轴颈。