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发明名称 Shielding design for backside metal deposition
摘要
申请公布号 GB2419895(B) 申请公布日期 2010.09.22
申请号 GB20050021968 申请日期 2005.10.28
申请人 TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED;AVIZA TECHNOLOGY UK LIMITED;SPP PROCESS TECHNOLOGY SYSTEMS UK LIMITED 发明人 CLIVE LUCA WIDDICKS;PAUL RICH;IAN MONCRIEFF
分类号 C23C14/04;C23C14/34;H01L21/673;H01L21/687 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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