可变陶瓷真空电容器结构改良

摘要

本发明公开了一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套筒、调节螺杆、调节螺母、拉杆、定位导套、波纹管、电极和外壳，调节螺杆一端与传动件固连，另一端与调节螺母自由啮合，调节螺母与拉杆一端固连，拉杆另一端与电极一端固连，拉杆外侧套设有定位导套，定位导套一端与外壳内壁固连，定位导套外侧套设有波纹管，套筒套设于调节螺杆和调节螺母外侧并与外壳固连，定位导套、套筒和拉杆上分别设有至少一个气孔，可快速释放因摩擦产生的热量，使滑动更顺畅，使可变陶瓷真空电容器的机械寿命提高到两百万次以上，从而提高了可变陶瓷真空电容器的使用周期，降低半导体加工设备的使用成本。

主权项

一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套筒(1)、调节螺杆(2)、调节螺母(3)、拉杆(4)、定位导套(5)、波纹管(6)、电极(7)和外壳(8)，调节螺杆(2)一端与传动件固连，另一端与调节螺母(3)自由啮合，调节螺母(3)与拉杆(4)一端固连，拉杆(4)另一端与电极(7)一端固连，拉杆(4)外侧套设有定位导套(5)，定位导套(5)一端与外壳(8)内壁固连，定位导套(5)外侧套设有波纹管(6)，套筒(1)套设于调节螺杆(2)和调节螺母(3)外侧并与外壳(8)固连，其特征为：定位导套(5)、套筒(1)和拉杆(4)上分别设有至少一个气孔(9)。