| 发明名称 | 微机械结构元件和用于运行微机械结构元件的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提出了一种微机械结构元件(1)，其中，该微机械结构元件具有一些固定电极(3)和一个振动质量(19)，该振动质量通过悬挂元件(5)与载体基板(18)连接并且可相对于该载体基板运动，该振动质量具有反电极，这些反电极通过第一导电连接结构(8)相互连接，并且所述固定电极此外具有测量电极(7)和解耦的电极，其中，这些测量电极设置成作为电分析处理器件起作用，而与所述解耦的电极(6)相对置的所述反电极(4)设置成作为改变频带的机械元件起作用。 | ||
| 申请公布号 | CN101842709A | 申请公布日期 | 2010.09.22 |
| 申请号 | CN200880114316.6 | 申请日期 | 2008.09.29 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | L·特伯杰;F·本尼尼;W·菲尔斯特 |
| 分类号 | G01P15/08(2006.01)I;G01P15/125(2006.01)I;G01C19/56(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 侯鸣慧 |
| 主权项 | 微机械结构元件(1)，其中，该微机械结构元件(1)具有一些固定电极(3)和一个振动质量(19)，该振动质量(19)通过悬挂元件(5)与载体基板(18)连接并且可相对于该载体基板运动，该振动质量(19)具有反电极(4)，这些反电极通过第一导电连接结构(8)相互连接，其特征在于，所述固定电极(3)具有测量电极(7)和解耦的电极(6)，其中，这些测量电极(7)设置成作为电分析处理器件起作用，而与所述解耦的电极(6)相对置的所述反电极(4)设置成作为改变频带的机械元件起作用。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||