发明名称 Charged particle beam device and method applied in a charged particle beam device
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Teilchenstrahlgerät (1) und ein Verfahren zur Anwendung bei einem Teilchenstrahlgerät (1), bei denen eine Probe auf einem Trägerelement (5) angeordnet ist. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Teilchenstrahlgerät und ein in diesem Teilchenstrahlgerät anwendbares Verfahren zur Probenpräparation und/oder Probenuntersuchung anzugeben, wobei die Vorrichtung einfach aufgebaut ist und wobei das Verfahren nicht sehr zeitaufwendig ist. Diese Aufgabe wird durch ein Teilchenstrahlgerät (1) gelöst, das ein bewegliches Trägerelement (5) mit zwei Aufnahmeelementen (6, 7) zur Aufnahme von jeweils einer Probe aufweist bzw. bei dem das Aufnahmeelement lösbar am Trägerelement angeordnet ist. Das erfindungsgemäße Verfahren sieht die Verwendung dieses Trägerelements (5) vor. </p>
申请公布号 EP2001038(A3) 申请公布日期 2010.09.22
申请号 EP20080157672 申请日期 2008.06.05
申请人 CARL ZEISS NTS GMBH 发明人 ZEILE, ULRIKE;SCHERTEL, DR. ANDREAS
分类号 H01J37/20;H01J37/26;H01J37/305 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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