发明名称
摘要
申请公布号 JP4549553(B2) 申请公布日期 2010.09.22
申请号 JP20010041218 申请日期 2001.02.19
申请人 发明人
分类号 C23C14/28;C23C16/453;C23C4/00;C23C28/04 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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