| 发明名称 | 降低显影液成本的装置及其方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种降低显影液成本的装置及其方法，以降低因使用显影液所产生的成本，其提供一装置，其主要是藉由物理性的扰动该显影液或超音波器震动，而使显影液浓度一致并降低显影液的消耗。该装置及其方法，降低了因使用显影液所产生的成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101840165A | 申请公布日期 | 2010.09.22 |
| 申请号 | CN200910129217.1 | 申请日期 | 2009.03.19 |
| 申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 施江林;黄沛霖;曾盈崇 |
| 分类号 | G03F7/30(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人 | 陈怡;颜涛 |
| 主权项 | 一种用于使显影液浓度均匀的方法，其特征在于，该方法包含下列步骤：提供承载装置；提供显影液；将该显影液滴至该承载装置上的晶圆上，并旋转该承载装置；停止对该承载装置旋转；物理性地扰动该显影液；及停止扰动并将该晶圆上的显影液干燥。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 | ||