| 发明名称 |
Apparatus for producing trichlorosilane and method for producing trichlorosilane |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2210661(A3) |
申请公布日期 |
2010.09.22 |
| 申请号 |
EP20100151076 |
申请日期 |
2010.01.19 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION |
发明人 |
NARUKAWA, MITSUTOSHI |
| 分类号 |
B01J8/18;B01J8/00;B01J8/24;B01J8/34;C01B33/107 |
主分类号 |
B01J8/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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